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离子束刻蚀是从工件上去除材料,是一个撞击溅射过程。
当离子束轰击工件,入射离子与靶原子碰撞时将动能传递给靶原子,使其获得的能量超过原,子的结合能,导致靶原子发生溅射,从工件表,面溅射出来,大样片离子束刻蚀机安装,以达到刻蚀的目的。
刻蚀加工时,对离子入射能量、束流大小、离子入射角度以及工作室压力都需要根据不同的加工需求进行调整。
离子束刻蚀可以在加工、表面抛光、石英晶体谐振器制作等方面得到应用。
在离子束刻蚀过程中,选择合适的入射角可以提高刻蚀效率,大样片离子束刻蚀机生产厂家,这只是一个方面。另一个方面是靠合适的入射角度控制刻蚀图形的轮廓。下图给出了不同角度的刻蚀结果。
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刻蚀过程是纯物理溅射,可以刻蚀任何固体材料;平行离子束刻蚀,高各向---;无钻蚀;精度高,分辨率<0.01um.
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